Завод «Микрон» получил контракт на уникальную установку для измерения слоев

Зеленоградский завод «Микрон», входящий в группу «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на создание уникальной автоматизированной установки «Лучник». Общая стоимость контракта составляет 1,56 миллиарда рублей. Эта установка станет важным элементом в производстве микросхем, обеспечивая высокую точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Задача проекта — разработка отечественного аналога американского устройства ARCHER 10 XT от KLA Tencor. «Лучник» будет обрабатывать пластины диаметром 150 и 200 мм, контролируя точность наложения слоев до 130 нм и обеспечивая производительность не менее 75 пластин в час. Установка будет использовать интерферометры и алгоритмы машинного зрения для коррекции процесса. Разработка требует высокой точности и завершится до июля 2029 года. «Микрон» сможет тестировать прототипы на своей производственной линии 200-миллиметровых пластин, что увеличит шансы на успешную реализацию проекта.